சூப்பர் எக்ஸ்-ரே பரப்பளவு அடர்த்தி அளவீட்டு மானி
அளவீட்டுக் கொள்கைகள்
கதிர் மின்முனையை கதிர்வீச்சு செய்யும்போது, கதிர் மின்முனையால் உறிஞ்சப்பட்டு, பிரதிபலிக்கப்பட்டு, சிதறடிக்கப்படும், இதன் விளைவாக, பரவும் மின்முனைக்குப் பிறகு கதிர் தீவிரம் சம்பவக் கதிர் தீவிரத்துடன் ஒப்பிடும்போது ஒரு குறிப்பிட்ட தணிப்பு ஏற்படுகிறது, மேலும் அதன் தணிப்பு விகிதம் மின்முனையின் எடை அல்லது பரப்பளவு அடர்த்தியுடன் எதிர்மறையாக அதிவேகமாக இருக்கும்.
I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)
I_0 : ஆரம்ப கதிர் தீவிரம்
I : மின்முனையை கடத்திய பின் கதிர் தீவிரம்
λ : அளவிடப்பட்ட பொருளின் உறிஞ்சுதல் குணகம்
மீ : அளவிடப்பட்ட பொருளின் தடிமன்/பரப்பளவு அடர்த்தி
உபகரண சிறப்பம்சங்கள்
குறைக்கடத்தி சென்சார் மற்றும் லேசர் சென்சார் அளவீட்டின் ஒப்பீடு
● விரிவான அவுட்லைன் மற்றும் அம்சங்களின் அளவீடு: மில்லிமீட்டர் இடஞ்சார்ந்த தெளிவுத்திறன் பரப்பளவு அடர்த்தி அவுட்லைன் அளவீடு அதிவேக மற்றும் உயர் துல்லியத்துடன் (60 மீ/நிமிடம்)
● மிகை அகல அளவீடு: 1600 மிமீக்கும் அதிகமான பூச்சு அகலத்திற்கு ஏற்றது.
● மிக அதிக வேக ஸ்கேனிங்: 0-60 மீ/நிமிடம் என்ற சரிசெய்யக்கூடிய ஸ்கேனிங் வேகம்.
● மின்முனை அளவீட்டிற்கான புதுமையான குறைக்கடத்தி கதிர் கண்டறிப்பான்: பாரம்பரிய தீர்வுகளை விட 10 மடங்கு வேகமான பதில்.
● அதிவேக மற்றும் உயர் துல்லியத்துடன் கூடிய நேரியல் மோட்டாரால் இயக்கப்படுகிறது: பாரம்பரிய தீர்வுகளுடன் ஒப்பிடும்போது ஸ்கேனிங் வேகம் 3-4 மடங்கு அதிகரிக்கிறது.
● சுயமாக உருவாக்கப்பட்ட அதிவேக அளவீட்டு சுற்றுகள்: மாதிரி அதிர்வெண் 200kHZ வரை உள்ளது, இது மூடிய வளைய பூச்சுகளின் செயல்திறன் மற்றும் துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.
● மெல்லிய திறன் இழப்பைக் கணக்கிடுதல்: புள்ளி அகலம் 1 மிமீ வரை சிறியதாக இருக்கலாம். விளிம்பு மெல்லிய பகுதியின் வெளிப்புறங்கள் மற்றும் மின்முனையின் பூச்சுகளில் கீறல்கள் போன்ற விரிவான அம்சங்களை இது துல்லியமாக அளவிட முடியும்.
மென்பொருள் இடைமுகம்
அளவீட்டு அமைப்பின் முக்கிய இடைமுகத்தின் தனிப்பயனாக்கக்கூடிய காட்சி
● மெல்லிய பகுதி தீர்மானித்தல்
● திறன் தீர்மானம்
● கீறல் கண்டறிதல்
தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்
| பொருள் | அளவுரு |
| கதிர்வீச்சு பாதுகாப்பு | உபகரண மேற்பரப்பில் இருந்து 100மிமீ கதிர்வீச்சு அளவு 1μsv/h க்கும் குறைவாக உள்ளது. |
| ஸ்கேன் செய்யும் வேகம் | 0-60மீ/நிமிடம் சரிசெய்யக்கூடியது |
| மாதிரி அதிர்வெண் | 200 கி ஹெர்ட்ஸ் |
| பதிலளிக்கும் நேரம் | 0.1மி.வி. |
| அளவிடும் வரம்பு | 10-1000 கிராம்/㎡ |
| புள்ளி அகலம் | 1மிமீ, 3மிமீ, 6மிமீ விருப்பத்தேர்வு |
| அளவீட்டு துல்லியம் | பி/டி≤10%16 வினாடிகளில் ஒருங்கிணைப்பு:±2σ：≤±உண்மையான மதிப்பு×0.2‰ அல்லது ±0.06g/㎡; ±3σ：≤±உண்மையான மதிப்பு×0.25‰ அல்லது ±0.08g/㎡;4 வினாடிகளில் ஒருங்கிணைப்பு:±2σ：≤±உண்மையான மதிப்பு×0.4‰ அல்லது ±0.12g/㎡; ±3σ：≤±உண்மையான மதிப்பு× 0.6‰ அல்லது ±0.18g/㎡; |
