டாச்செங் துல்லியத்தால் உருவாக்கப்பட்ட CDM தடிமன் பகுதி அடர்த்தி ஒருங்கிணைந்த அளவீடு, லித்தியம் பேட்டரி மின்முனையின் ஆன்லைன் அளவீட்டிற்கான உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

லித்தியம் பேட்டரி துறையின் வளர்ச்சியுடன், மின்முனை அளவீட்டு தொழில்நுட்பத்திற்கு புதிய சவால்கள் தொடர்ந்து முன்வைக்கப்படுகின்றன, இதன் விளைவாக அளவீட்டு துல்லியத்தை மேம்படுத்துவதற்கான தேவைகள் ஏற்படுகின்றன. மின்முனை அளவீட்டு தொழில்நுட்பத்தின் வரம்பு உற்பத்திக்கான தேவைகளை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள்.

1. மின்முனை பூச்சு செயல்பாட்டில் பரப்பு அடர்த்தியை அளவிடுவதற்கு, கதிர் சமிக்ஞையின் ஒருங்கிணைந்த நேரம் 4 வினாடிகளிலிருந்து 0.1 வினாடிகளாகக் குறைக்கப்படும்போது அளவீட்டு துல்லியம் 0.2g/m² ஐ அடைய வேண்டும்.

1. கலத்தின் தாவல் அமைப்பில் ஏற்படும் மாற்றங்கள் மற்றும் கேத்தோடு மற்றும் அனோட் ஓவர்ஹேங்கின் செயல்முறை காரணமாக, பூச்சு விளிம்பு மெலிந்த பகுதியில் வடிவியல் சுயவிவரத்தை இலக்காகக் கொண்ட ஆன்லைன் துல்லியமான அளவீடு அதிகரிக்கப்பட வேண்டும். 0.1 மிமீ பகிர்வில் சுயவிவர அளவீட்டின் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய துல்லியம் ±3σ (≤ ±0.8μm) இலிருந்து ±3σ (≤ ±0.5μm) ஆக அதிகரிக்கப்பட்டுள்ளது.
2. பூச்சு செயல்பாட்டில் தாமதமின்றி மூடிய-லூப் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது, மேலும் பூச்சு செயல்பாட்டில் ஈரமான படத்தின் நிகர எடையை அளவிட வேண்டும்;
3. காலண்டரிங் செயல்பாட்டில் மின்முனையின் தடிமன் துல்லியத்தை 0.3μm இலிருந்து 0.2μm ஆக மேம்படுத்த வேண்டும்;
4. காலண்டரிங் செயல்பாட்டில் அதிக சுருக்க அடர்த்தி மற்றும் அடி மூலக்கூறு நீட்டிப்புக்கு, ஆன்லைன் எடை அளவீட்டின் செயல்பாட்டை அதிகரிக்க வேண்டியது அவசியம்.

CDM தடிமன் & பரப்பளவு அடர்த்தி அளவீடு அறிமுகப்படுத்தப்பட்டதிலிருந்து வாடிக்கையாளர்களால் பெரிதும் பாராட்டப்பட்டது, தொழில்நுட்பத்தில் அதன் புதுமையான முன்னேற்றங்கள் மற்றும் பயன்பாட்டில் சிறந்த செயல்திறன் காரணமாக. அதே நேரத்தில், விரிவான அம்சங்களை அளவிடும் அதன் திறனின் அடிப்படையில், இது வாடிக்கையாளர்களால் "ஆன்லைன் நுண்ணோக்கி" என்று அழைக்கப்படுகிறது.

CDM தடிமன் & பரப்பளவு அடர்த்தி அளவீடு

விண்ணப்பம்

இது முக்கியமாக லித்தியம் பேட்டரி கேத்தோடு மற்றும் அனோட் பூச்சு செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் தடிமன் மற்றும் பகுதி அடர்த்தியை அளவிடுகிறது.

அளவிடுவிரிவான விளக்கம்அம்சம்s மின்முனையின்

மின்முனையின் விளிம்பு சுயவிவரத்தை ஆன்லைனில் நிகழ்நேரத்தில் படம்பிடிக்கவும்.

ஆன்லைன் "நுண்ணோக்கி" கட்ட வேறுபாட்டை அளவிடும் (தடிமன் அளவீட்டு) நுட்பம்.

முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள்

CDM கட்ட வேறுபாடு அளவீட்டு தொழில்நுட்பம்:

1. இது குறுக்குவெட்டு மற்றும் நீளமான மெல்லிய பகுதியில் சுயவிவரங்களின் இழுவிசை சிதைவை அளவிடுவதில் உள்ள சிக்கலையும், தானியங்கி வகைப்பாடு வழிமுறை மூலம் மெல்லிய பகுதியின் அதிக தவறான மதிப்பீடு விகிதத்தையும் தீர்த்தது.
2. இது விளிம்பு சுயவிவரத்தின் உண்மையான வடிவியல் வடிவத்தின் உயர் துல்லிய அளவீட்டை உணர்ந்தது.

மின்முனையின் பரப்பளவு அடர்த்தியைக் கண்டறியும் போது, ​​அளவி அதன் சிறிய அம்சங்களையும் கண்டறிய முடியும்: காணாமல் போன பூச்சு, பொருள் இல்லாமை, கீறல்கள், மெல்லிய பகுதிகளின் தடிமன் சுயவிவரம், AT9 தடிமன் போன்றவை. இது 0.01 மிமீ நுண்ணிய கண்டறிதலை அடைய முடியும்.

அறிமுகப்படுத்தப்பட்டதிலிருந்து, CDM தடிமன் & பரப்பளவு அடர்த்தி அளவீடு பல முன்னணி லித்தியம் உற்பத்தி நிறுவனங்களால் ஆர்டர் செய்யப்பட்டுள்ளது, மேலும் இது வாடிக்கையாளரின் புதிய உற்பத்தி வரிசைகளின் நிலையான உள்ளமைவாக மாறியுள்ளது.